特点

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  设备参数
  - 行程：2000mm
  - 操作分辨率：0.1㎛
  - 精度：2㎛
  - 重复性（@3σ）：<2㎛
  - 最大速度：200mm / s 
  				

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  硬件
  - 沿着大理石平台移动的载物台和载物台上的传感器（经纬仪）测量物体
  - 花岗岩底架
  - 俯仰，偏航，滚动误差2”以内
  - 定制硬件/ UI软件